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自动工具显微镜

产品特点

全自动工具测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力,和影像测量仪的X、Y. Z轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、 LCD、 手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。


技术规格

①:固定式E通三目头 

②:高眼点大视野平场目镜 

③:落射照明器 

④:反射用干涉绿色片组 

⑤: 500W像素高分辨率彩色相机


产品图展示

高倍电子显微镜

高倍电子显微镜

高倍电子显微镜

高倍电子显微镜

高倍电子显微镜

微信图片_20201013142014.png


技术参数


光学系统

无限远光学系统

观察头

30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,两档分光比100/0或0/100

5°~35°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,两档分光比:100/0或0/100

30倾斜,倒像,无限远较链三通观察简 .瞳距调节:0-7mm.两档分光比: 100/0或50/50

目镜

高眼点大视野平场目镜PL0X22mm,可带测微尺

高眼点大视野平场目镜PL10X22mm。视度可调,可带测微尺

转换器

内定位5孔转换器

内定位明暗场5孔转换器

物镜

无限远长工作距平场消色差金相DIC物镜( 5X、10X )

无限远超长工作距平场半复消金相DIC物镜( 20X )

无限远长工作距平场消色差金相物镜( 50X、100X )

无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜(5x.10X)

无限远超长工作距平场明暗场半复消金相DIC物镜( 20X )

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜( 50X、100X )

放大倍率

光学放大倍率: 50X- 1000X

系统放大倍率: 135X-2700X

平台精度

电动测量平台(行程300mm(Xx200)mm,带数显器,带电动调焦控制盒;样品高度150mm ;

测量精度,X和Y: ( 2+L/200) μm, L为测量长度(单位mm) Z(选配): (5+L/200) μm

照明系统

明暗场反射照明器,带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽,带5WLED灯源,亮度可调(含托架适配器)

辅助对焦模块,带对焦分划板两档,带绿光5WLED灯源组(含100V-240V宽电压, 5WLED控制器)

调焦方式

电动手轮控制调节,调焦距离175mm

相机

像素500万or130W可选;2592(H)x 1944(V)or1280(H)*960(H);帧率: 30fps;接口: USB2.0;

图像传感器:CMOS(彩色)

摄影摄像接口

1XCTV. C型接口、可调焦


0.65XCTV、C型接口、可调焦


0.5XCTV、C型接口、可调焦

PC

DELL OptiPlex3050MT+DELL液晶显示器+正版Win10系统

App

精密测量App

其他附件

起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件;标定片


核心优势

卓越的光学技术呈现出色成像

202106251050215956_03         202106251050215956_07

100倍 IC电路 明场             50倍 IC电路 暗场

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20倍 IC电路 偏光           10倍 FPD导电粒子 DIC

具备专业、先进的技术,是研发首要条件。

Tm自动工具测量显微镜采用优异的无限远

光学系统搭配半复消色差物镜,提高了成像

衬度和清晰度,用户可以得到鲜明、清晰的

高对比度图像。只需简单操作即可实现明

暗场,偏光,微分干涉等多种成像方式。

专业无限远长.工作距金相物镜镜头可以

达到高透过率与高清晰度,真实还原样

品的自然色彩。除了明场观察,还能胜

任暗场、偏光和微分干涉观察。

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false

5X、10X、 20X、 50X、 100X等不同倍率

的物镜,配合燕尾式转换器,拆装方便,既可

实现大视野、大工作距测量,又可以实现高倍

高精度测量。

无论是测量大型部件还是精细元件,或是表面

高度差异大的样品, TM自动工具测量显微镜

可以应对并协助用户选择Z 佳的观察方法。


人体工学设计实现舒适操作性

任何的研究,都需要人亲自实践。

人体的舒适度在很大程度上主导了工作的进展、效率、完成度。

Tm自动工具测量显微镜努力让工具尽量适合人体的自然形态,这样在使用工具的过程中,

人的身体无需主动适应,从而减少使用工具造成的疲劳。

false

仰角可调观察筒使操作变得舒适而简单

这款观察筒倾斜角在5 °至35°之间可

调。无论是站立或坐着,都能Z 大限度满

足用户的操作需求,同时也无需担忧用户

的身高差异。

false

Z轴自动升降配合电动鼻轮一键切换

搭配0.1um高精度光栅尺,实时反馈

给操编辑真实的位置信息实现精准定位。

三轴均为电动移动操作,使得平台移动方

式变为电动控制。更加精准,容易控制,

避免反复工作。配合电动鼻轮实现一键切

换倍率,避免操编辑与镜头等光学部分的

直接接触。



精密的测量工具保证结果的准确性

测量的意义在于还原样品的真实数据。

测量工具的严谨恰好体现了品牌的品质。随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要。

TM自动工具测量显微镜采用0.1μ m读数的3轴测量系统,利用X、Y轴高精度光栅尺可进行水平方向测量,

电动Z轴调焦可操作性强,降低疲劳。



false

多功能的落射照明器

采用LED灯源,更耐用。色

温可选,满足不同的场景需

求。可进行简易偏光、暗场

以及滤色后的观察。


运动控制实现自动化

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自动移动平台

平台移动可通过App控

制,可实现平台移动全

自动化

自动物镜转换器

通过App控制物镜转换器,

自动切换物镜

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应用案例

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false

false

false

★IC先进封装bumping尺寸测量

★PCB板焊脚测量

★IC先进封装bumping对位精度测量

★液晶面板TFT测量


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